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化學(xué)指標單位：μg/L
序號 | 水質(zhì)項目 | 一級高純水指標 | 二級高純水指標 |
1 | 電阻率（25℃）MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 電導率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | PH值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
4 | 細菌總數，個(gè)/mL | ＜3 | ＜9 |
5 | 微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） | ＜150 | ＜300 |
6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
7 | 有機物（以COD計） | ＜0.3 | ＜0.5 |
8 | 鈉 Na | ＜0.5 | ＜2 |
9 | 鐵 Fe | ＜1 | ＜2 |
10 | 銅 Cu | ＜0.5 | ＜1 |
11 | 鈣 Ca | ＜1 | ＜3 |
12 | 鎂 Mg | ＜0.2 | ＜1 |
13 | 鋅 Zn | ＜0.5 | ＜1 |
14 | 錳 Mn | ＜0.2 | ＜0.5 |
說(shuō)明：①一級高純水合用于大規模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導體器件產(chǎn)品。
?、诙壐呒兯嫌糜谝话汶娐?，分立器件以及有相同要求的半導體器件產(chǎn)品。
?、郾颈戆?/span>1980年電子產(chǎn)業(yè)部尺度摘錄。
"工業(yè)超純水水質(zhì)標準是什么?"由“中水回用”廠(chǎng)家-瀅源水處理設備整理發(fā)布，如需轉載請注明來(lái)源及出處，原文地址：http://gujarati24.com/news/318.html
廣東瀅源環(huán)保水處理科技有限公司17年專(zhuān)注水處理設備,純水設備,中水回用,回用水設備,軟化水設備,EDI超純水設備等設備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售。公司生產(chǎn)產(chǎn)品可廣泛應用于電子、電力、電鍍、線(xiàn)路板、光學(xué)鏡片、化工、化妝品、醫藥、食品飲料、漂染、酒業(yè)、輕工、晶硅半導體等諸多行業(yè)，并已通過(guò)IS09001質(zhì)量管理體系認證。針對國內不同地區的水質(zhì)特性提供不同的解決方案，并提供近千套水處理設備系統，保證出水質(zhì)量達到合格要求！
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